Pulverfilterpatroner i rustfritt stål med VCR 1/2"-grensesnitt er kritiske komponenter i halvlederproduksjon, spesielt utviklet for gassdistribusjonssystemer med høy -renhet. Disse filterpatronene bruker avansert metallpulversintringsteknologi for å oppnå presis filtrering, som effektivt fanger opp partikler så små som 5 mikron. Dette sikrer levering av essensielle gasser for å opprettholde,{6} integriteten til sensitive halvlederfremstillingsprosesser. Videospillerens 1/2"-grensesnitt gir en lekkasjesikker-metall-til-metallforsegling, og oppfyller de strenge kravene til halvledermiljøer der selv små gassurenheter kan føre til betydelige defekter i mikroelektroniske enheter. Deres robuste konstruksjon av-korrosjonsbestandig rustfritt stål garanterer holdbarhet og langsiktig{15}}pålitelighet under ekstreme forhold.

I halvlederapplikasjoner spiller disse filterpatronene en viktig rolle for å beskytte nedstrømsutstyr som massestrømskontrollere og presisjonsventiler mot partikkelforurensning. Ved å integreres sømløst i eksisterende-gasslinjer med høy renhet, forenkler de installasjon og vedlikehold samtidig som systemets nedetid minimeres. Kombinasjonen av høy filtreringseffektivitet, eksepsjonell kjemisk motstand og pålitelig forsegling gjør dem uunnværlige for å sikre konsistent gassrenhet og driftseffektivitet i avanserte halvlederproduksjonsanlegg.

Produktspesifikasjoner

5 microns Stainless steel powder filter cartridges with VCR 12 interfaces

Materiale: 316L pulver
Størrelse: φ40*196,3mm
Filterpresisjon: 5 mikron
Grensesnitt: VCR1/2"
Teknisk: Sintring

Produktfunksjoner

5 microns Stainless steel powder filter cartridges with VCR 12 interfaces 3

1. Ultra-høy renhet og partikkelretensjon
- Sintret rustfritt stålstruktur (vanligvis 316L) gir et rent, helmetallfiltreringsmedium uten bindemidler, lim eller organiske rester.
- Kan holde på sub-mikron partikler ned til 0,5 μm, og hindrer mikroforurensning i å nå prosesskamre eller wafere.
- Ingen partikkelavgivelse, noe som sikrer stabilt antall partikler ved langvarig bruk.

2. Robust mekanisk og termisk stabilitet
- Fullmetalldesign tåler høyt trykk, høy temperatur og hyppige termiske sykluser.
- Opprettholder mekanisk integritet under vibrasjoner, omvendt strømning eller trykkpulserende-forhold som er vanlige i gassdistribusjonssystemer.
- Kompatibel med varmesporing for gassledninger med høy temperatur.

3. Rengjørbar og regenererbar
- Filterelementer kan spyles tilbake, rengjøres med ultralyd eller bakes i vakuum, noe som gir lang levetid sammenlignet med polymer- eller keramiske filtre.
- Typisk livssyklus strekker seg til 5–10 ganger den for engangs PTFE- eller PVDF-filtre, noe som minimerer nedetid og totale eierkostnader.

4. Kjemisk kompatibilitet og korrosjonsbestandighet
- 316L rustfritt stål opprettholder en passiv oksidfilm i miljøer med klorid, fluor, ammoniakk og sure gasser.
- Ikke-reaktiv overflate forhindrer metallioneekstraksjon eller endringer i gasssammensetning.

applikasjoner

1. UHP gassdistribusjonslinjer
- Installert i bulkgassleveringsskinner, gassskap og VMB/VMP-paneler, filtrerer ut partikler før gass kommer inn i MFC-er eller prosessverktøy.
- Brukes i N₂, Ar, H₂, He, O₂, NH₃, CF₄ og andre gasslinjer med høy renhet som mater kritiske prosesser.

2. Massestrømkontroller (MFC) innløpsbeskyttelse
- Forhindrer partikkelforurensning og ventilslitasje i presisjonsmassestrømskontrollere.
- Forbedrer langsiktig flytstabilitet og kalibreringskonsistens for MFC-er.

3. Prosesskammer og verktøygassinntak
- Sikrer partikkelfri, fuktighetsfri levering til CVD-, ALD-, etse- og diffusjonsovner.
- Brukes i SiH₄-, WF₆-, BCl₃-, PH₃- og TEOS-linjer der renheten er avgjørende for filmkvalitet og -utbytte.

4. Spesialgass- og forløpersystemer
- For metallorganiske eller halogenbaserte gasser der kjemisk treghet og temperaturstabilitet er avgjørende.
- Plasseres ofte etter fordampere eller bobler for å fange opp kondenserte partikler eller dråper.

Kontakt oss

Tlf: 0917-3873009

Telefon: +86 18992731201

E-post:zhangjixia@bjygti.com

Faks: 0917-3873009

Adresse: No. 195, Gaoxin Avenue, High-Tech Development Zone, Baoji City, Shaanxi, Kina

Whatsapp: +86 18992731201

Populære tags: 5 mikron rustfritt stål pulverfilterpatroner med videospiller 1/2" grensesnitt, Kina, leverandører, produsenter, tilpasset, bruk, prisliste, til salgs, på lager, gratis prøve, porøst materiale

Produkter

5 mikron pulverfilterpatroner i rustfritt stål med videospiller 1/2" grensesnitt

Produktspesifikasjoner

Produktfunksjoner

applikasjoner

Kontakt oss